产品分类
- 液位控制
- - OLC 单点液位开关
- - 130588V (PVDF) - 液位开关
- - 138588V (PP空心) - 液位开关
- - OMAR OLC 特别定制液位开关
- - 185598C / 186598C (弯杆不锈钢) - 液位开关
- - 179273C (PP 内/外置) - 液位开关
- - 179276C (M16) (PP 内置) - 液位开关
- - 179274C (PP 内置) - 液位开关
- - 139277C (PP实心) - 液位开关
- - 138277C (PP 空心) - 液位开关
- - 135598C / 136598C (不锈钢) - 液位开关
- - 179589C (PP 内置) - 液位开关
- - 179170C (PP 直角) - 液位开关
- - 175575C (不锈钢内置) - 液位开关
- - 179272C (PP 外置) - 液位开关
- - 179277C (M12) (PP 内置) - 液位开关
- - 179275C (PP 外置) - 液位开关
- - Omar 单点液位开关
- - 美国 PP / PVDF 单点液位开关
- - Gems 单点液位开关
- - Gems 177425 (PP 空心) - 液位开关
- - Gems 1755 (316 SS) - 液位开关
- - 173250 (PVDF) - 液位开关
- - 131100 & 140620 (横向外置) - 液位开关
- - 165800 & 165900 (横向外置) - 液位开关
- - 164870 (316 SS) - 液位开关
- - 165570 & 164520 ( 横向内置) - 液位开关
- - LS-3 Micro - 液位开关
- - LS-3 3/4 - 液位开关
- - 1950 & 79999 (316 SS) - 液位开关
- - 74780 (CPVC) - 液位开关
- - LS-10 系列单点泄露监测开关
- - Gems 多点式液位开关
- - Gems 光电开关及控制器
- - Gems 液位控制元件
- - 美国 Warrick 液位感应系列
- - OLC 单点液位开关
- 压力传感器
- 流量计
- 流量控制
- 压力开关
- 台湾 Lorric 喷嘴
- - 喷嘴系列
- - 台湾 Lorric QFH 快拆式扇形喷嘴
- - EB+HB 系列 可调角度塑料扇形喷嘴
- - QFMF 快拆式实心圆锥喷嘴
- - H 单件式扇形喷嘴
- - QFYH 快拆式扇形喷嘴
- - CH 多件式扇形喷嘴
- - DVEH 塑料清洗扇形喷嘴
- - D Clamp 工业用低压广角扇形管扣式喷嘴
- - KAD 多件式扇形喷嘴
- - MWT 不锈钢空心圆锥喷嘴
- - H - UPE 扇形喷嘴
- - NH 单件式扇形喷嘴
- - KPMF 塑料实心圆锥喷嘴
- - KPMF 金属实心圆锥喷嘴
- - Mini ED 电镀及桶槽用 迷你搅拌喷嘴
- - ED - Eductor 桶槽用 搅拌喷嘴
- - ST 专利冷却水塔用空心圆锥喷嘴
- - SPP 废气处理塔用螺旋喷嘴
- - PF 单件式低压广角扇形喷嘴
- - F 单件式低压广角扇形喷嘴
- - V 单件式扇形喷嘴
- - VH 单件式扇形喷嘴
- - 喷嘴系列
- Omar 压力表
- 德国 Burkert 流体控制系列
- 美国 Gems 微型电磁阀
- 德国 ASV Stubbe 阀门及泵
- 德国 WIKA / Tecsis 产品系列
- OT 23 系列-精巧型温度传感器
- 增压系列
- 液位控制
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GF80 / GF81 系列金属密封热质量流量控制器和仪表
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GF80 / GF81 系列金属密封热质量流量控制器和仪表
流量范围 – 满量程容量 : GF80 : 3 sccm – 50 slm ;
GF81 : 51-300 slm
精度 : GF80 : ±1% S.P. 35-100% , ±0.35% F.S. 2-35% ;
GF81 : ±1% S.P. 35-100% , ±0.35% F.S. 5-35%
重复性 : GF80 : <±0.20% S.P. ;
GF81 : 0.15% S.P.
模拟通讯 : 0-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA
对于许多工业和半导体加工过程，性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点：设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术，该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外，金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势，原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度，同时还由于金属密封件有效期相当长而减少了维护工作量。
特点
* 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
* 1 秒内稳定
* 满量程流速高达 300 slpm
* 全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理
* 耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体
* 可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆 除 MFC 并且不影响精度
* 通过有源温度补偿实现的一流温度系数规范
* 内嵌式常规自检功能和独立的诊断/维护端口
* 带有 VCR 配件的细线体设计
* DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模拟接口
优势
* 1 秒完成流量稳定，消除废气和过程变量影响
* 未采用会发生氧渗透并且使用一定时间之后需要进行更换的弹性体密封件
* MultiFloTM 精简了过程气体切换操作 — 无需再拆除并重新校准 MFC
* 60 秒内即可完成新气体和/或量程的设定操作
* 测量精度不受温度变化影响
* 可轻松访问诊断端口以实现运行时间最大化
* 规格紧凑，可轻松集成至紧张的设备空间内；设备改型的绝佳选择
* 多协议通信接口可简化向现有系统的集成操作
应用
* 对翻新后的半导体加工工具中的原有 MFC 进行经济高效的改型/升级
* 减少六英寸/八英寸半导体工厂的 MFC 库存
* 用于 LED 和功率器件生产的 MOCVD
* 太阳能/薄膜化学气相沉积 (CVD) 系统
* 分析用 OEM 设备
